近日，日本關東電化工業株式會社的三氟化氮（NF?）生產設施突發爆炸并引發嚴重火災，造成一死一傷，火勢雖在事發上午就被撲滅。但對全球半導體產業鏈帶來的沖擊不容小覷。

關東電化占據日本90%以上的NF?產能，是臺積電、三星、美光、鎧俠、索尼以及Rapidus等全球主要芯片制造商的重要供應商。

NF? 是一種高純度特種氣體，廣泛應用于半導體制造中的蝕刻、等離子清洗和薄膜沉積工藝，尤其在DRAM、NAND閃存和AI芯片生產中不可替代。

由于工藝精度要求極高，符合5N（99.999%）純度的供應商全球屈指可數，因此供應鏈高度集中。

此次事故導致關東電化兩條NF?生產線中的一條嚴重受損，當地政府已暫停其運營，其他生產活動也在安全確認后逐步恢復。

據了解，恢復關東電化受損的設施和恢復發貨可能需要數月時間，恰逢全球AI芯片產能擴張，帶動NF?需求飆升，供應鏈的風險被進一步放大。

除了芯片清洗工藝，NF?還是六氟化鎢（WF?）的重要原材料，WF?是先進芯片金屬布線的關鍵材料。如果供應受阻，將直接影響先進邏輯和存儲芯片的制造進度。

事故發生后，關東電化的客戶紛紛尋求替代供應。

鎧俠迅速表態稱，其短期產量和財務表現不會受影響，原因是可以利用其他天然氣來源并動用庫存。索尼半導體部門則拒絕置評，稱不會披露供應商信息。

有分析認為，如果關東電化不能盡快恢復產能，下游芯片制造商將面臨更嚴重的瓶頸，而眼下很多廠商為了應對AI帶來的需求增長，產線已經滿負荷運轉。

目前全球的主要NF?供應商包括韓國的SK Materials（年產能約1.35萬噸，市場份額約35%）、Hyosung曉星（年產能約1.15萬噸，市場份額約25%）、日本關東電化（年產能約3700噸，市場份額約8%）以及德國默克（年產能約2600噸）。

日本經濟產業省已介入協調，計劃增加從韓國進口來彌補缺口，但高純度氣體的產能擴張周期長，短期新增產能有限，市場仍需尋找新供應源。

這對中國NF? 供應商來說，是一個機會。

目前，中船特氣、凱美特氣已具備5N級（99.999%）純度NF?的量產能力，有望分得部分國際訂單。

南大光電、昊華科技則在4N5（99.995%）級別，其中南大光電已完成5N級工藝驗證，預計2025年四季度投產。綠菱氣體、廣鋼氣體、和遠氣體、裕隆氣體、福建德爾等廠商的產品純度大多在4N（99.99%）級。

若這些企業能夠在純度、穩定性和供應規模上迅速提升，不僅有機會爭取更多國際客戶，還可能打破日韓長期壟斷的格局。